使用X 射线衍射仪XRD  进行晶圆棒，晶圆片及晶锭的生产质量控制
晶棒定向 |  晶圆片分析|  石英片 分选
定向：
AT | SC | IT | TF | X | Y | Z

弗莱贝格X-ray Diffractometer
 

Quartz XRD的特点：

 检测速度: 2 s (AT quartz)
高精度: ≤ 10 arcsec 标准偏差
空间分辨率： 1 mm ± 0.1 mm
› 测定相对于样品的取向倾角
› 自动显示角度分量(Theta & Phi) ，包括标准偏差

德国工艺: 稳健及模块化设计
› 软件: 易于使用的软件套件与多个用户级别。自动显示、记录和报告测量数据
› 自动化: 定制不同规格的晶圆片或blank的样品处理系统，包括机器人，取放，振动分拣机